用金加工和焊接形成一个密闭的腔体，所有的接口全部用橡胶圈或铜圈密封，用真空泵将腔体中的气体排出，就形成了真空腔室。 真空腔室的实现：无论什么材料，只要能够形成一个密闭的容器，然后用真空泵（种抽气体用的泵，种类有很多）把腔室内的气体压强抽到低于正常气压的状态，都称作是真空室。举简单的例子，医用针筒，一端用手堵上，抽动活塞，形成的低气压腔室，也是真空室。不过真空室根据气压的高低程度不同，又分为以下几种：
1）10^5Pa(100000Pa)（正常气压）~10^2Pa 称作低真空
2)10^2Pa ~10^-1Pa 称作中真空
3)10^-1Pa ~10^-5Pa称作高真空
4)小于10^-5Pa的称作超高真空
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